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闭环之困:损耗与机遇并存
ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值极高的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。
物理分离法中的机械剥离技术,是通过破碎、筛分和浮选等方法,将ITO涂层与玻璃基板进行分离。随后,再结合化学处理对分离出的ITO涂层进行铟的提取。这种方法主要适用于LCD面板的回收,但需注意,其纯度可能相对较低。
铟靶材回收的主要任务是将铟从靶材中的其他金属和材料中分离出来,并将其提纯至高纯度。回收方法包括火法、湿法和电化学法。
火法冶金工艺使用高温熔炼和精炼来回收铟。这种方法适用于大规模回收,但存在一些缺点,如产生危险废物、高能耗,以及可能损失有价值的铟。
湿法冶金工艺利用化学浸出剂将铟从靶材中溶解出来。这种方法比火法更环保,适用于从成分复杂的靶材中回收铟。然而,这一过程可能较为复杂,需要使用危险化学品。
电化学过程通过电流将铟从靶材中溶解和回收。这种方法也比火法更环保,可以回收较高纯度的铟。但这一过程可能较为复杂,需要专门的设备和专业知识。
在分离铟和其他金属和材料时,可以采用几种方法,包括选择性溶解、溶剂萃取、离子交换和沉淀。选择性溶解使用化学浸出剂选择性地溶解铟,而保持其他金属和材料不变。溶剂萃取使用有机溶剂选择性地提取铟。离子交换则通过树脂吸附铟离子,同时留下其他离子。沉淀法使用化学试剂使铟从溶液中沉淀出来,而将其他金属和材料留在溶液中。